Физико-технологический институт РАН
Поделись знанием:
К:Научные институты, основанные в 1988 году
(перенаправлено с «ФТИАН»)
Физико-технологический институт РАН (ФТИ РАН) | |
Международное название |
FTI RAS |
---|---|
Основан | |
Директор |
Владимир Фёдорович Лукичёв (исполняющий обязанности) |
Расположение | |
Юридический адрес |
117218 Москва, Нахимовский проспект 36/1 |
Сайт |
[www.ftian.ru an.ru] |
Физико-технологический институт (ФТИАН) — институт Отделения нанотехнологий и информационных технологий Российской академии наук.
Временно исполняющим обязанности директора Физико-технологического института с 20 января 2016 года назначен член-корреспондент РАН, доктор физико-математических наук Владимир Фёдорович Лукичёв.
Научные подразделения
- Лаборатория математического моделирования физико-технологических процессов микроэлектроники (ММФТПМ)
- Лаборатория микроструктурирования и субмикронных приборов (МССП)
- Лаборатория субмикронной литографии (СЛ)
- Лаборатория физики поверхности и микроэлектронных структур (ФПМС)
- Лаборатория физических основ квантовых вычислений
Проекты и исследования
- Ионно-лучевые технологии
- Плазмохимическое травление — технология создания элементов МЭМС и НЭМС
История ФТИАН
Создан в 1988 году на базе на базе Отдела микроэлектроники Института общей физики АН СССР.
Ранее директорами института были: академик Камиль Ахметович Валиев и сменивший его на этом посту в 2005 году академик Орликовский Александр Александрович.
См. также
Напишите отзыв о статье "Физико-технологический институт РАН"
Ссылки
- [www.ftian.ru Физико-технологический институт (ФТИАН)]
- [ffke.fizteh.ru/chairs/ftiran.html Кафедра физических и технологических проблем микроэлектроники на базе физико-технологического института]
Это заготовка статьи об организации. Вы можете помочь проекту, дополнив её. |
<imagemap>: неверное или отсутствующее изображение |
Для улучшения этой статьи желательно?:
|
|