Физико-технологический институт РАН

Поделись знанием:
(перенаправлено с «ФТИАН»)
Перейти к: навигация, поиск
Физико-технологический институт РАН
(ФТИ РАН)
Международное название

FTI RAS

Основан

1988

Директор

Владимир Фёдорович Лукичёв (исполняющий обязанности)

Расположение

Россия Россия, Москва

Юридический адрес

117218 Москва, Нахимовский проспект 36/1

Сайт

[www.ftian.ru an.ru]

К:Научные институты, основанные в 1988 году

Физико-технологический институт (ФТИАН) — институт Отделения нанотехнологий и информационных технологий Российской академии наук.

Временно исполняющим обязанности директора Физико-технологического института с 20 января 2016 года назначен член-корреспондент РАН, доктор физико-математических наук Владимир Фёдорович Лукичёв.





Научные подразделения

  • Лаборатория математического моделирования физико-технологических процессов микроэлектроники (ММФТПМ)
  • Лаборатория микроструктурирования и субмикронных приборов (МССП)
  • Лаборатория субмикронной литографии (СЛ)
  • Лаборатория физики поверхности и микроэлектронных структур (ФПМС)
  • Лаборатория физических основ квантовых вычислений

Проекты и исследования

  • Ионно-лучевые технологии
  • Плазмохимическое травление — технология создания элементов МЭМС и НЭМС

История ФТИАН

Создан в 1988 году на базе на базе Отдела микроэлектроники Института общей физики АН СССР.

Ранее директорами института были: академик Камиль Ахметович Валиев и сменивший его на этом посту в 2005 году академик Орликовский Александр Александрович.

См. также

Напишите отзыв о статье "Физико-технологический институт РАН"

Ссылки

  • [www.ftian.ru Физико-технологический институт (ФТИАН)]
  • [ffke.fizteh.ru/chairs/ftiran.html Кафедра физических и технологических проблем микроэлектроники на базе физико-технологического института]