ASML
| ASML Holding N.V. | |
| Тип |
публичная (Euronext: [europeanequities.nyx.com/en/products/equities/ASML-XPAR ASML], NASDAQ: [www.nasdaq.com/symbol/ASML ASML] |
|---|---|
| Основание |
1984 |
| Расположение | |
| Ключевые фигуры |
Eric Meurice (CEO), Peter Wennink (CFO), Arthur van der Poel (Chairman of the supervisory board) |
| Отрасль | |
| Продукция |
фотолитографическая техника для микроэлектронной промышленности |
| Оборот |
€ 4.7 млрд (2012)[1] |
| Операционная прибыль |
▼ (€165.0 млн) (2009)[2] |
| Чистая прибыль |
▼ (€150.9 млн) (2009)[2] |
| Число сотрудников |
13 тыс (2012)[1] |
| Сайт |
[www.asml.com/ www.asml.com] |
ASML — нидерландская компания, крупнейший производитель фотолитографических систем для микроэлектронной промышленности. Компания производит оборудование для изготовления СБИС, таких как чипы памяти RAM, флеш-память, микропроцессоры.
Продукция
Фотолитографические установки ASML используются в производстве интегральных микросхем. В таких установках происходит процесс оптического проецирование специальных частично прозрачных шаблонов (масок) на поверхность полупроводниковой пластины, покрытую тонкой пленкой светочувствительного материала (фоторезиста). Для каждой пластины эта процедура повторяется несколько десятков раз. После каждого проецирования происходит обработка пластины с нанесенным фоторезистом, в процессе которой формируются электронные структуры микросхем. Оптический метод, применяемый в установках ASML, используется в настоящее время для производства практически всех интегральных схем.
Лидирующим поставщиком устройств для литографии ASML стала в 2002 году[3]. На 2007 год, ASML имеет долю рынка продаж фотолитографического оборудования в 65 % (во всем мире)[4]. Компания тесно сотрудничает с немецкой фирмой Цейс (Zeiss), которая является её основным поставщиком оптики. Конкурентами компании являются Canon и Nikon. На 2008 год, установка ASML высшего класса Twinscan XT:1950 может использоваться с техпроцессами вплоть до 38нм[5] со скоростью до 131 пластины в час. В установке используется иммерсионная литография с водяной прослойкой и аргон-фторидный (argon-fluoride, ArF) эксимерный лазер с длиной волны 193 нм. На тот же момент, в среднем, литографическая установка стоила 22 млн евро.[5] В 2009 году, ASML разрабатывала установки с лазерами на 13.5 нм (EUVL). 22 Апреля 2009, бельгийский исследовательский центр Imec представил работоспособные чипы КМОП SRAM выполненные по техпроцессу 22 нм на прототипе установки ASML с EUVL.[6]
Компания
ASML центральный офис компании находится в Велдховене, Нидерланды. Там же находятся исследовательские и производственные подразделения. Клиенты ASML находятся в различных странах, компания имеет более 60 пунктов обслуживания в 16 странах. Акции компании торгуются на AEX и NASDAQ под названием ASML.
Компания, изначально называвшаяся ASM Lithography[7] была основана в 1984 как совместное предприятие компаний Advanced Semiconductor Materials International (ASMI) и Philips. В настоящее время только небольшая часть акций принадлежит Philips.[8]
Продукция
Основные серии литографов ASML: [9]
- 1984: PAS 2000, разрешение до 1 мкм, точность позиционирования до 250 нм
- 1989: PAS 5000, разрешение около 0.5 мкм, точность до 100 нм
- 1990-е: PAS 5500, разрешение 400-90 нм, точность до 100-12 нм
- 2000-е: семейство TWINSCAN (NX, NXT), разрешение 100-38 нм, точность до 20-2 нм
- 2010-е: экспериментальные EUV системы TWINSCAN NXE,разрешение 38-19 нм, точность лучше 3 нм
Российские пользователи
В России использование степперов (литографов) ASML планировалось (по состоянию на 2008 год) на фабрике Ангстрем-Т[10]
Среди российских пользователей ASML также можно отметить НИИСИ, который использует установку проекционной пошаговой мультипликации (степпер) ASML PAS 5500/250С.[11][12]
Установки ASML используются на передовой линии по производству микросхем в Зеленограде на заводе Микрон (PAS 5500/750F 248nm/0.7 120 пластин в час и PAS/1150C 193nm/0.75 135 пластин в час[13])
Напишите отзыв о статье "ASML"
Примечания
- ↑ 1 2 www.reefbv.nl/uploads/files/rend_-_technological_challenges_in_semiconductor_lithography.pdf#page=21
- ↑ 1 2 [www.asml.com/doclib/investor/annual_reports/2009/asml_20100129_AnnualReport09_Form-20F.pdf Annual Report 2009]. ASML. Проверено 5 апреля 2010. [www.webcitation.org/68tl0z5fs Архивировано из первоисточника 4 июля 2012].
- ↑ Chris Mack. [www.lithoguru.com/scientist/litho_history/milestones_tools.pdf Milestones in Optical Lithography Tool Suppliers] 12 (2005). — «ASML (4)» Проверено 3 декабря 2013.
- ↑ [www.asml.com/asml/show.do?ctx=5869&rid=34058 ASML Press release 2007 quarter 4] "ASML increased global market share measured in net sales to 65 percent in 2007"
- ↑ 1 2 [www.asml.com/asml/show.do?ctx=5869&rid=36557 Press release 2008 quarter 3]
- ↑ [www2.imec.be/imec_com/imec-22nm-sram-cells-with-euv.php IMEC presents functional 22nm SRAM cells fabricated using EUV technology]. IMEC press release, 22 April 2009.
- ↑ [www.asml.com/asml/show.do?ctx=32894#33198 About ASML: Questions and Answers]. ASML Holding. Проверено 3 августа 2010. [www.webcitation.org/68tl2Lcm2 Архивировано из первоисточника 4 июля 2012].
- ↑ [www.asml.com/asml/show.do?ctx=33254&year=2006-present ASML corporate history]
- ↑ indico.cern.ch/event/275412/session/6/contribution/22/material/slides/0.pdf#page=40
- ↑ [www.electronics.ru/issue/2008/6/1 Проект “Ангстрем-Т”: первая российская smart-foundry.] // Электроника НТБ 2008: "Мы предполагаем работать на уровне 0,11–0,13 мкм. Это возможно, поскольку именно таково технологическое разрешение степперов (литографов) компании ASML."
- ↑ nanotech.iu4.bmstu.ru/learning_program/magistr/doc/primer.doc "На технологической линии НИИСИ РАН используется проекционная литографическая установка PAS5500/250C фирмы ASML "
- ↑ www.nano-systems.ru/library/_publications/lithography_abstract.pdf "с использованием установки пошаговой мультипликации ASML PAS 5500/250С"... "ТП фотолитографии на фабрике НИИСИ РАН."
- ↑ [habrahabr.ru/post/156843/ Микроэлектронная индустрия в России (2012) / Хабрахабр]
Ссылки
- [www.asml.com/ l.com] — официальный сайт ASML
| ||||||
Отрывок, характеризующий ASML
На выходе император Франц только пристально вгляделся в лицо князя Андрея, стоявшего в назначенном месте между австрийскими офицерами, и кивнул ему своей длинной головой. Но после выхода вчерашний флигель адъютант с учтивостью передал Болконскому желание императора дать ему аудиенцию.Император Франц принял его, стоя посредине комнаты. Перед тем как начинать разговор, князя Андрея поразило то, что император как будто смешался, не зная, что сказать, и покраснел.
– Скажите, когда началось сражение? – спросил он поспешно.
Князь Андрей отвечал. После этого вопроса следовали другие, столь же простые вопросы: «здоров ли Кутузов? как давно выехал он из Кремса?» и т. п. Император говорил с таким выражением, как будто вся цель его состояла только в том, чтобы сделать известное количество вопросов. Ответы же на эти вопросы, как было слишком очевидно, не могли интересовать его.
– В котором часу началось сражение? – спросил император.
– Не могу донести вашему величеству, в котором часу началось сражение с фронта, но в Дюренштейне, где я находился, войско начало атаку в 6 часу вечера, – сказал Болконский, оживляясь и при этом случае предполагая, что ему удастся представить уже готовое в его голове правдивое описание всего того, что он знал и видел.
Но император улыбнулся и перебил его:
– Сколько миль?
– Откуда и докуда, ваше величество?
– От Дюренштейна до Кремса?
– Три с половиною мили, ваше величество.
– Французы оставили левый берег?
– Как доносили лазутчики, в ночь на плотах переправились последние.
– Достаточно ли фуража в Кремсе?
– Фураж не был доставлен в том количестве…
Император перебил его.
– В котором часу убит генерал Шмит?…
– В семь часов, кажется.
– В 7 часов. Очень печально! Очень печально!
Император сказал, что он благодарит, и поклонился. Князь Андрей вышел и тотчас же со всех сторон был окружен придворными. Со всех сторон глядели на него ласковые глаза и слышались ласковые слова. Вчерашний флигель адъютант делал ему упреки, зачем он не остановился во дворце, и предлагал ему свой дом. Военный министр подошел, поздравляя его с орденом Марии Терезии З й степени, которым жаловал его император. Камергер императрицы приглашал его к ее величеству. Эрцгерцогиня тоже желала его видеть. Он не знал, кому отвечать, и несколько секунд собирался с мыслями. Русский посланник взял его за плечо, отвел к окну и стал говорить с ним.
Вопреки словам Билибина, известие, привезенное им, было принято радостно. Назначено было благодарственное молебствие. Кутузов был награжден Марией Терезией большого креста, и вся армия получила награды. Болконский получал приглашения со всех сторон и всё утро должен был делать визиты главным сановникам Австрии. Окончив свои визиты в пятом часу вечера, мысленно сочиняя письмо отцу о сражении и о своей поездке в Брюнн, князь Андрей возвращался домой к Билибину. У крыльца дома, занимаемого Билибиным, стояла до половины уложенная вещами бричка, и Франц, слуга Билибина, с трудом таща чемодан, вышел из двери.
Прежде чем ехать к Билибину, князь Андрей поехал в книжную лавку запастись на поход книгами и засиделся в лавке.
– Что такое? – спросил Болконский.
– Ach, Erlaucht? – сказал Франц, с трудом взваливая чемодан в бричку. – Wir ziehen noch weiter. Der Bosewicht ist schon wieder hinter uns her! [Ах, ваше сиятельство! Мы отправляемся еще далее. Злодей уж опять за нами по пятам.]
– Что такое? Что? – спрашивал князь Андрей.
Билибин вышел навстречу Болконскому. На всегда спокойном лице Билибина было волнение.
– Non, non, avouez que c'est charmant, – говорил он, – cette histoire du pont de Thabor (мост в Вене). Ils l'ont passe sans coup ferir. [Нет, нет, признайтесь, что это прелесть, эта история с Таборским мостом. Они перешли его без сопротивления.]
Князь Андрей ничего не понимал.
– Да откуда же вы, что вы не знаете того, что уже знают все кучера в городе?
– Я от эрцгерцогини. Там я ничего не слыхал.
– И не видали, что везде укладываются?
– Не видал… Да в чем дело? – нетерпеливо спросил князь Андрей.
– В чем дело? Дело в том, что французы перешли мост, который защищает Ауэсперг, и мост не взорвали, так что Мюрат бежит теперь по дороге к Брюнну, и нынче завтра они будут здесь.
– Как здесь? Да как же не взорвали мост, когда он минирован?
– А это я у вас спрашиваю. Этого никто, и сам Бонапарте, не знает.
Болконский пожал плечами.
– Но ежели мост перейден, значит, и армия погибла: она будет отрезана, – сказал он.
– В этом то и штука, – отвечал Билибин. – Слушайте. Вступают французы в Вену, как я вам говорил. Всё очень хорошо. На другой день, то есть вчера, господа маршалы: Мюрат Ланн и Бельяр, садятся верхом и отправляются на мост. (Заметьте, все трое гасконцы.) Господа, – говорит один, – вы знаете, что Таборский мост минирован и контраминирован, и что перед ним грозный tete de pont и пятнадцать тысяч войска, которому велено взорвать мост и нас не пускать. Но нашему государю императору Наполеону будет приятно, ежели мы возьмем этот мост. Проедемте втроем и возьмем этот мост. – Поедемте, говорят другие; и они отправляются и берут мост, переходят его и теперь со всею армией по сю сторону Дуная направляются на нас, на вас и на ваши сообщения.
– Полноте шутить, – грустно и серьезно сказал князь Андрей.
Известие это было горестно и вместе с тем приятно князю Андрею.
Как только он узнал, что русская армия находится в таком безнадежном положении, ему пришло в голову, что ему то именно предназначено вывести русскую армию из этого положения, что вот он, тот Тулон, который выведет его из рядов неизвестных офицеров и откроет ему первый путь к славе! Слушая Билибина, он соображал уже, как, приехав к армии, он на военном совете подаст мнение, которое одно спасет армию, и как ему одному будет поручено исполнение этого плана.
